濕洗台

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最後上線︰2014/06/28

手動硅片清洗設備

◆ 可根據不同的清洗工藝配置各種相應的清洗功能槽。

◆ 功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恆溫緩衝腐蝕）、超聲清洗槽、恆溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。

◆ 清洗功能槽模塊化，各部分有獨立的控制單元，可隨意組合。

◆ 關鍵件採用進口部件，提高設備的可靠性及使用壽命。

◆ 採用進口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。

◆ 控制系統的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環境。

◆ 結構緊湊，佔地面積小，造型美觀、實用。

◆ 操作符合人機工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。

◆ 閉式清洗，有效改善工作環境，保障操作人員安全

蘇州華林科納半導體設備技術有限公司

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