| 型號： | CSE-SC09-NSX |
|---|---|
| 品牌： | CSE |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 通用機械 / 清洗、清理設備 |
| 標籤︰ | 半導體顯影機 , 定影機 , 硅片顯影機 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 套 |
| 即時通訊: | 最後上線︰2014/06/28 |
半導體顯影清洗機
1．概述：本設備可用於半導體工藝中對2″~8″硅片進行顯影和定影，該產品技術先進、一致性強，適用於規模生產。
2．整台設備材料均為進口。
3．本設備為雙排槽構成，每排7槽，各設一套機械手，兩排可獨立同時完成相應的工序。
4．本設備除裝片和取片需人工外，其餘工藝動作均可自動完成。
5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。
6．工作區潔淨度：100級。
7．槽間工藝轉換時間：Tm ax≤3.5S
