去膠清洗台

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最後上線︰2014/06/28

特點：（1)每槽可同時清洗2個花籃。本設備外型美觀，耐酸性能好，操作方便，運行可靠，是半導體生產線理想的硅片清洗設備。

（2）本設備由機架部分、整機部分、槽體部分、伺服系統、及機械傳動部分、電氣控制系統構成

（3）工藝過程可自動/手動，機械手在槽間轉換靠PLC來控制，美國進口導軌和機械手來滿足工藝時序。

（4）除裝片和取片需人工外，其餘工藝動作均由機械手來實現，適用於連續批量生產。

（5）機台內設高效過濾器，滿足淨化工作區工作（1000級~100級，10級為特級）。

（6）人機界面為觸摸屏，有安全保護故障代碼，故障報警，工藝時序號，方便操作、易於維護。

蘇州華林科納半導體設備技術有限公司

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