產品描述
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設計特點
熱式原理
一體化設計
滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
響應時間不超過 2 秒鐘
操作壓力可達 20.7MPa
對安裝位置不敏感
316SS 材質,允許測量腐蝕性氣體
無直管段安裝要求
單電源供電
技術參數
流量範圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一
響應時間 : 1 ~ 2 秒
精 度 : ± 1% 滿量程(除 204A 型)
---------± 1± 1.5%.滿量程( 204A 型)
重 復 性 : ± 0.2% 滿量程
量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 滿量程)
環境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃
最大操作壓力 : 3000PSIG ( 20.7MPa ),具體請參考資料
零點漂移: ± 0.05 % 滿量程 / ℃
範圍漂移 : ± 0.05 % 讀數 / ℃
壓力漂移 : 0.1%/atm (相對於 N 2 )
安裝方向 : 對位置不敏感
預熱時間 : 10 分鐘
電氣連接 : 卡式 ( 20 針)或 D 型( 9 針)
設定點輸入流量信號輸出 :0-5VDC/0-5VDC;4-20mA/4-20mA
供應電源 :
電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用於 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或 +15( ± 10 % )VDC
電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC
電流消耗:< 250mAdc
重 量 :請參考表一
結構材質
主體: 316SS
傳感器組件 : 316LSS
孔: 316SS
閥構成部件 (接液):
302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222 和 251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802 ( 202 、 221 、 222 和 251 型)
密封材質(” O ”型環和閥座):
Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A 和 204A 型);Buna N , Viton( 202A 、 203A 和 204A 型)
過程連接: 316SS
型號
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流量範圍
最小/最大 N2
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最大操作壓力
PSIG(MPa)
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重量
Ibs(Kg)
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201
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0-5SCCM/0-10SLPM
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1000(6.9)
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1.2(0.54)
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202
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0-10SLPM/0-100SLPM
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1000(6.9)
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4.1(1.86)
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221
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0-5SCCM/0-10SLPM
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3000(20.7)
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4.1(1.86)
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222
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0-10SLPM/0-100SLPM
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3000(20.7)
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4.1(1.86)
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251
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0-10SLPM/0-50SLPM
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1000(6.9)
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1.4(0.64)
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202A
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0-10SLPM/0-100SLPM
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200(1.4)
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5.1(2.31)
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203A
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0-100SLPM/0-500SLPM
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200(1.4)
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10.9(4.95)
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204A
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0-500SLPM/0-1000SLPM
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200(1.4)
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10.9(4.95)
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產品圖片
圖 1
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