抗靜電高品質橡膠鍍膜擁有柔軟介質能附著於工件表面(例:模具/軌道/手臂/金屬或陶瓷盤面.......等),鍍膜本身也同樣擁有抗沾黏的效果,針對不同的製程需求亦可增加鍍膜厚度來改善與提升產品良率。
1) 橡膠鍍膜可吸附或緩衝機構對材料的瞬間衝擊,改善連續性的壓傷或產品龜裂等異常,克服材料本身變形量問題。
2) 靜電消散與抗沾黏則可改善partical與製程中產生之異常物質沾附,易清潔的特性也可降低技術員/工程師保養時間,提升機台稼動率。
案例1: 因晶圓本身有翹曲問題,機台原手臂吸取時會產生真空不足的問題導致晶圓於傳送過程中"晶圓掉片"造成晶圓破裂。
案例2: 晶圓凸塊(Bumping)製程,原手臂在吸取過完迴焊爐的材料會產生錫球壓傷甚至產生掉球的問題,從晶圓上脫落的錫球也會殘留於手臂上造成下一片材料異常。