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等離子光氧化一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，後段主要處理voc有機廢氣的氣味。

等離子區工作原理：當廢氣進入等離子光解一體機淨化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之後這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。（在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然後便引發了一系列複雜的物理、化學反應，使複雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。）

光氧催化區工作原理：通過破坏、分解、催化氧化把污染氣體分解為無害無味氣體。採用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破坏且改變成為低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑塗層產生活性，強化催化氧化作用。

在分解過程中產生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所週知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的處理效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破坏細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭的目的。

對於等離子光氧一體機的應用也比較廣氾，主要運用在造紙業、製藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的有毒有害氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機對部分行業的淨化效率在95%左右，是目前市場上比較好的廢氣淨化設備。