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DLC俗稱類金剛石，是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一詞的縮寫。DLC是一種由碳元素構成、在性質上和鑽石類似，同時又具有石墨原子組成結構的物質。類金剛石薄膜（DLC）是一種非晶態薄膜，由於具有高硬度和高彈性模量，低摩擦因數，耐磨損以及良好的真空摩擦學特性，很適合於作為耐磨塗層，從而引起了摩擦學界的重視。目前制備DLC薄膜的方法很多，有熱沉積、磁控、氣象沉積、電弧沉積、離子源沉積等， 不同的制備方法所用的碳源以及到達基體表面的離子能量不同， 沉積的DLC 膜的結構和性能存在很大差別， 摩擦學性能也不相同。

該設備採用PVD+CVD工藝模式，可以沉積厚度在3微米以內的純正DLC膜層，設備可配備離子源，進一步提高結合力。

一、設備配置：

1、粗抽泵+分子泵

2、質量流量計:4路

3、真空計：薄膜規1個，全量程真空計1個

4、電源：直流電源等3套

5、離子源：1套

二、DLC膜層性能

1、硬度在HV2000-2500之間

2、低摩擦係數：0.1左右

3、高絕緣性能：電阻測量在10M歐以上

三、類金剛石膜(DLC)的應用

1、DLC膜可廣氾應用於各類工具、模具和刀具，如鑽頭、銑刀、光盤模具、沖模、塑料成型模、玻璃成型模和鎂合金加工模具等。

2、滑動部件，如軸承、齒輪等。

3、汽車零部件：燃料噴射系統（氣門挺杆）、柱塞、噴油針等）、動力傳動系統（齒輪、滾動軸承等）、活塞部件（活塞環、活塞銷等）、凸輪軸部件（銷、襯套、搖臂及部分液壓元件等）和其他部件（如門鎖、內飾等）