| 型號： | - |
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| 品牌： | 超邁光電 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 其他工業設備 |
| 標籤︰ | 鍍膜機 , 刻蝕機 , 真空爐 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 套 |
| 最後上線︰2023/12/01 |
●本裝置使用電阻蒸發、電子束蒸發和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合，用於制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附着力、抗損傷、低顆粒物污染等特點，是半導體製程中關鍵工序的核心裝備，其技術長期被美國、日本等國技術巨頭所壟斷，屬於國內卡脖子裝備，也是制約國內半導體領域自主可控的關鍵設備，該設備的技術突破和產業化對國內半導體產業發展具有積極意義。
