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Surpass電磁耦合磁控濺射 可定製 1
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Surpass電磁耦合磁控濺射 可定製

型號:-
品牌:超邁光電
原產地:中國
類別:工業設備 / 其他工業設備
標籤︰鍍膜機 , 刻蝕機 , 真空爐
單價: -
最少訂量:1 套
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成都漢普升科技有限公司

免費會員四川省成都市
最後上線︰2023/12/01

產品描述

●該設備為公司根據客戶工藝需求定製,與中國科學院某研究所國家重點實驗室聯合研製,先後獲得獎勵3項,聯合申報國家專利2項,用於固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領域,服務于科研和國家重大項目需求,具有多功能、高穩定和國內首創的特點,歡迎各位聯合研製。

 

●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成,同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統,可根據客戶使用需求定製。

●真空腔體:φ900X1050,雙層水冷;(可根據實際需求定製)

●真空系統:分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統;

●真空抽速:4000-7000L/S,進口全量程復合真空計,全金屬防爆真空規;

●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據客戶選擇主泵確定);

●磁控靶組件:4個矩形靶,4個圓柱靶,根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈衝直流濺射電源;

●離子源:2套線性離子源,匹配專用電源;

●氣路:4路反應氣體,進口質量流量計,1路毛細保護氣路;

●烘烤溫度:400℃,不鏽鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結構;

●工件盤:導軌多工位行星工件盤2套(標準配置為12工位和24工位,可擴展數百件工件共同沉積),工件盤裝夾移動小車一輛;

●控制系統:西門子PLC+西門子人機界面+工業控制計算機。

 

●特別說明:該設備為公司與中科院某所合作研製,獲得國家科技進步、國家科技發明獎、機械工業科技進步一等獎和中科院重大設備專項等獎勵,公司提供一攬子技術解決方案,同時與合作夥伴共享知識產權。


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Surpass電磁耦合磁控濺射 可定製 1
圖 1

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