| 型號： | XH-MPS-150 |
|---|---|
| 品牌： | 羲和 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
| 標籤︰ | 探針台 |
| 單價： |
-
|
| 最少訂量： | 1 件 |
| 最後上線︰2014/07/02 |
|
項 目
|
性能指標
|
||
|
可測圓片尺寸
|
2″、3″、4″、6″
|
||
|
工作台
|
行程
|
160mm×160mm
|
|
|
結構
|
精密高剛性直線導軌，滾珠絲杠
|
||
|
分辨率
|
0.001mm-0.01mm（根據需求絲杆導程可選）
|
||
|
操作方式
|
手輪
|
||
|
承片台Z向
|
接觸/分離
|
行程0.5mm
|
|
|
承片台θ向
|
微調範圍
|
±15 º
|
|
|
吸片盤
|
吸片方式
|
真空吸附
|
|
|
分檔
|
（2″、3″）、4″、6″單獨真空吸附，三檔可選
|
||
|
顯微鏡及配件
|
立柱式支架
|
前、后，上、下、旋轉，仰角四維可調
|
|
|
顯微鏡
|
雙目體視顯微鏡45X
|
||
|
照明燈
|
LED環形燈
|
||
|
相關配件
|
打點器
|
可調三維座，驅動DC24V
|
|
|
測試探針
|
高彈性鎢針
|
||
|
三維針座
|
磁性吸附式，可調範圍：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm，
z: ±6.5mm
|
||
|
外形尺寸
|
610mm×560mm×500mm（長×寬×高）
|
||
|
設備重量
|
約30 KG
|
||
|
使用環境
|
電源
|
AC 220V±22V 50Hz±1Hz
|
|
|
功率
|
0.05kW
|
||
|
真空
|
-80 KPa
|
||
|
環境溫度
|
15ºC-30ºC
|
||
|
相對濕度
|
＜70%
|
||
