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CDG160D電容薄膜真空計
產品簡介：
inficon CDG160D電容薄膜真空計，INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。產品詳細 CDG160D電容薄膜真空計 的詳細介紹

CDG160D電容薄膜真空計和CDG200D電容薄膜真空計溫度控制分別在 160 ℃ 和 200 °C，具有卓越的性能，適用於苛刻的半導體和等離子過程。 在 1 托至 1000 托滿刻度範圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計採用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。 INFICON CDG 品質卓越，極具成本效益，適用於苛刻的半導體、等離子和真空應用。


CDG160D電容薄膜真空計益處擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
易於集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕鬆一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用於快速維修和維護
兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
卓越的信號穩定性和可重複性，即使是最苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
CDG160D電容薄膜真空計典型應用用於刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體製造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
CDG160D電容薄膜真空計選型：


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