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專業製造YHKSL1300氧化擴散爐

型號:YHKSL1300
品牌:青島微弘
原產地:中國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰氧化擴散爐 , 氧化爐 , 擴散氧化爐
單價: ¥147000 / 台
最少訂量:1 台
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青島微弘設備技術有限公司

免費會員山东省青岛市
即時通訊:最後上線︰2018/05/17

產品描述

氧化擴散爐

氧化擴散爐應用於半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規模集成電路製造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,可用於2-8英吋工藝尺寸。

■氧化擴散爐控制系統特點

可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步

工藝曲線的自動運行控制功能  

 氧化擴散爐自動運行中可暫停/繼續運行功能

工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能 

可存儲多組PID參數供系統運行調用功能   

 氧化擴散爐PID參數自整定功能

具有自主知識產權的軟件系統,良好的人機界面

 氧化擴散爐系統故障自診功能

工藝氣體的程序控制功能

停電后斷點繼續運行功能等     

關鍵件全部具有高可靠性  

 氧化擴散爐具有曆史記錄功能

具有多種故障報警及各種安全互鎖保護功能

 氧化擴散爐具有多點溫度補償

可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能  

 

 氧化擴散爐主要技術指標

可配工藝管外徑:  2~8英吋     

可配工藝管數量:  1~4/

恆溫區長度及精度:  3001250mm   800~1300℃±0.5   

 氧化擴散爐工作溫度範圍: 4001300

單點溫度穩定性: 8001300   ±0.5/24h  

 氧化擴散爐最大可控升溫速度:  15/min

最大降溫速度:  5/min     

可為用戶量身定製非標準氧化擴散爐


付款方式︰議定

產品圖片

專業製造YHKSL1300氧化擴散爐 1
圖 1
專業製造YHKSL1300氧化擴散爐 2
圖 2
專業製造YHKSL1300氧化擴散爐 3
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專業製造YHKSL1300氧化擴散爐 4
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專業製造YHKSL1300氧化擴散爐 5
圖 5

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86-532-87967098
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