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管式真空燒結爐

管式真空燒結爐用於真空條件下集成電路、電力電子器件生產線對所生產產品進行燒結、合金、退火、焊接等工藝處理。具有控溫精度高，降溫速度快的特點。

■ 管式真空燒結爐特點

◆關鍵件全部採用進口件，具有高可靠性                                        

◆具有可編程的升、降溫功能

◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置                    

◆具有高抗干擾能力

◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能    

◆自動或手動自由轉換

■管式真空燒結爐技術指標

◆ 真空室工位：1~3工位  

◆ 工作室內徑：Φ100-Φ350mm （定製）                              

◆ 工作溫度：300℃~1200℃     

◆ 恆溫區精度：≤±2 ℃

◆ 恆溫區長度：300-1000mm （定製）

◆ 真空系統：機械泵+擴散泵 (分子泵) （定製）                        

◆ 真空度：5Χ10-3Pa

◆ 工藝氣體：N2、Ar、H2等

◆ 正壓、負壓均採用數字顯示

◆ 工作方式：自動或手動自由轉換

★ 可為用戶量身定製管式真空燒結爐