型號: | LT1300 |
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品牌: | 青島微弘 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 擴散爐爐體 , 擴散爐加熱器 , 加熱爐體 |
單價: |
¥12000
/ 只
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最少訂量: | 1 只 |
最後上線︰2018/05/17 |
擴散爐爐體加熱器主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),採用國外先進的加工工藝,選用進口材料,製作而成。可用於2-8英吋硅片的擴散工藝。
■擴散爐爐體加熱器材料:
★ 爐絲:Φ6~Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
★ 絕緣子:採用99瓷製作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。
★ 保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。
★ 外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。
★ 熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。
★ 把口環:陶瓷纖維把口環,既保溫,又有一定機械強度。
■擴散爐爐體加熱器參數:
★ 工作溫度: ≤1300℃
★ 恆溫區長度: 500mm-1000mm
★ 爐體內徑: Φ90~Φ360 mm(3~12英吋)
★ 使用壽命: 規範使用壽命可達18個月以上(1200℃)
★ 替代進口: 全方位配套
★ 根據客戶要求,加工定製各種擴散爐爐體、氧化爐爐體、LPCVD設備爐體、PECVD設備爐體、真空爐爐體及各種異型爐體加熱器。
付款方式︰ | 議定 |
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