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供應LT1300型擴散爐爐體加熱器

型號:LT1300
品牌:青島微弘
原產地:中國
類別:工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰擴散爐爐體 , 擴散爐加熱器 , 加熱爐體
單價: ¥12000 / 只
最少訂量:1 只
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青島微弘設備技術有限公司

免費會員山东省青岛市
最後上線︰2018/05/17

產品描述

擴散爐爐體加熱器

擴散爐爐體加熱器主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),採用國外先進的加工工藝,選用進口材料,製作而成。可用於2-8英吋硅片的擴散工藝。

擴散爐爐體加熱器材料:

   爐絲:Φ6~Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。

   絕緣子:採用99瓷製作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。

   保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。

   外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。

   熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。

   把口環:陶瓷纖維把口環,既保溫,又有一定機械強度。

 

擴散爐爐體加熱器參數:

   工作溫度:   1300

    恆溫區長度: 500mm-1000mm

    爐體內徑:   Φ90~Φ360 mm312英吋)

    使用壽命:   規範使用壽命可達18個月以上(1200℃)

    替代進口:   全方位配套

    根據客戶要求,加工定製各種擴散爐爐體、氧化爐爐體、LPCVD設備爐體、PECVD設備爐體、真空爐爐體及各種異型爐體加熱器。


付款方式︰議定

產品圖片

供應LT1300型擴散爐爐體加熱器 1
圖 1
供應LT1300型擴散爐爐體加熱器 2
圖 2
供應LT1300型擴散爐爐體加熱器 3
圖 3
供應LT1300型擴散爐爐體加熱器 4
圖 4
供應LT1300型擴散爐爐體加熱器 5
圖 5

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