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LED合金/退火爐

Led合金退火爐應用於半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、大規模集成電路製造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用於2-8英吋工藝尺寸。

■ led合金退火爐主要功能如下   

◆ 全中文操作界面，可編輯參數，操作簡便                   

◆ led合金退火爐可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步

◆ 工藝曲線的自動運行控制功能                              

◆ led合金退火爐自動運行中可暫停/繼續運行功能             

◆ 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能                  

◆ 智能昇降溫斜率控制功能

◆ led合金退火爐PID參數自整定功能                 

◆ 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能

◆ led合金退火爐系統故障的檢測與報警功能                                

◆ 系統誤差修正（單點或多點動態修正功能）

◆ 智能懸臂推拉舟控制功能                                  

◆ 工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質量流量控制器）

◆ 停電后斷點繼續運行功能等等                              

★ led合金退火爐可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能。

■  led合金退火爐主要技術參數          

◆ 可配工藝管數量：1～4管/台  

◆ led合金退火爐工作溫度範圍：200～1000℃  

◆ 恆溫區長度及精度：300～800mm  800～1000℃±0.5℃

◆ led合金退火爐最大可控升溫速度：15℃min;      

◆ 最大降溫速度：15℃min   

◆ 單點溫度穩定性：800～1000℃±0.5℃/24h

★ 可為用戶量身定製led合金退火爐