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德國SPS勻膠機 1
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德國SPS勻膠機

型號:SPIN150i
品牌:SPS
原產地:德國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 實驗儀器裝置
標籤︰勻膠機 , 旋塗儀 , 鍍膜機
單價: -
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上海科布信息技術有限公司

免費會員湖北省武汉市
最後上線︰2019/04/16

產品描述

一、產品概述:
    SPIN150i型勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,製版的表面塗覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保証半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是SPIN150i型勻膠機的特點。

二、勻膠機工作原理:
    勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上,勻膠機常用於各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜製作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

三、勻膠機主要性能指標:
1、腔體直徑:8英吋 (202 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直徑的材料,4英吋方片;
3、轉速範圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、最大加速度:30000RPM/S;
5、轉速精度: ±0.1rpm;
6、程序段數:無限制;
7、操作步數:無限制;
8、旋轉時間:無限制*,±0.1 Second steps;
9、旋轉方向:順時針,逆時針,交換擺動;
10、擴展接口:1個USB接口;
11、馬達保護:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm(可關閉);
12、排廢連接:1” M-NPT;
13、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;

 


產品圖片

德國SPS勻膠機 1
圖 1

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