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煙氣中NOx 的主要組成是NO（占95%），NO 難溶于水，而高價態的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2 和 HNO3，溶解能力大大提高。作為一種清潔的強氧化劑，在典型煙氣溫度下，臭氧脫硝的原理在於臭氧可以將難溶于水的NO 氧化成可溶于水生成HNO2 和 HNO3 的NO2、N2O3、N2O5 等高價態氮氧化物。臭氧對NO 的氧化效率可達84%以上，結合碱吸收法，脫硫率近100%，脫硝效率也在O3/NO 摩爾比為0.9 時達到86.27%。將臭氧通入煙氣中對NO 進行氧化，然後採用碱液進行吸收，終將NOx 轉化為硝酸鹽和N2，NOx 的去除率高達95%，SO2 去除率約為100%。通過實驗將O3注入煙氣進行脫除SO2、NOx 的研究，然後採用碱吸收塔對煙氣進行洗滌，結果表明NOX 的脫除率與O3的注入量有關，當O3加入量為200ppm時， NOX 的脫除效率可達到85%，此工藝對NOX 和SO2的脫除率高可分別達到97%和100%。採用此技術可得到較高的NOX 脫除率，典型的脫除範圍為70%～90%，甚至可達到95%，並且可在不同的NOX 濃度和NO/NO2的比例下保持。也不存在類似SCR 中NH3 的洩漏問題。該技術應用中 SO2 和CO 的存在不影響NOX 的去除，也不影響其他污染物控制技術。採用臭氧的氧化技術不僅對NOX 具有良好的脫除效果，而且對煙氣中的其他有害污染物，比如重金屬汞也有的去除能力。應用YDG-OX脫硝技術是利用現有煙氣脫硫除塵工藝中原有設備作為脫硝反應器，將氧/臭氧混合氣注入煙道，將NOX氧化成高價態且易溶于水的N2O3和N2O5，然後通過洗滌形成HNO3。該技術廣氾應用於用於石油精鍊廠中加熱器、鍋爐等的廢氣治理。