| 型號： | PA-300-XL SIC |
|---|---|
| 品牌： | - |
| 原產地： | 日本 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
| 標籤︰ | 內應力 , 相位差差測量 , 雙折射儀 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 件 |
| 即時通訊: | 最後上線︰2020/04/20 |
在PA系類設備的基礎上，加裝晶圓專用的裝置，可以高效精確的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產品的雙折射和殘餘應力的信息。
主要特點：
應用領域:
技術參數：
| 項次 | 項目 | 具體參數 |
| 1 | 輸出項目 | 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應力換算（選配）【MPa】 |
| 2 | 測量波長 | 520nm |
| 3 | 雙折射測量範圍 | 0-130nm |
| 4 | 測量最小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 測量重複精度 | <1nm（西格瑪） |
| 6 | 視野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（標準） |
| 7 | 選配鏡頭視野 | 不適用 |
| 8 | 選配功能 | 實時解析軟件，鏡片解析軟件，數據處理軟件，實現外部控制 |
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