型號: | AM-20G |
---|---|
品牌: | MicroASM微組半導體 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | OLED玻璃貼片 , 微型顯示器貼片機 , 硅基顯示玻璃貼片 |
單價: |
-
|
最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2020/10/29 |
Step1:晶圓通過晶圓搬運機械手從晶圓上料POT位轉移到晶圓校準器進行角度校準,然後轉運至點膠設備吸附臺上,對Wafer拍照Mark點定位,完成既定圖案的貼裝位噴膠;同時,直線取料模組從Casette將玻璃wafer取出至玻璃拾取工作位進行等待拾取貼裝;
Step2:機械手將晶圓從點膠設備吸附台轉移到貼裝作業吸附台,貼裝頭相機進行晶圓Mark點定位,然後自動拾取玻璃片,依次拍照、矯正、貼裝以及預固化;
Step3:貼裝完成后的晶圓,由晶圓搬運機械手移至膠水固化工位,進行UV固化及除泡;
Step4:晶圓分次作業時,部分作業完成固化后的晶圓,通過晶圓搬運機械手直接移至點膠工位進行循環作業;
Step5:晶圓搬運機械手再取回晶圓放回晶圓下料POT位.