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閉管軟着陸擴散爐

閉管軟着陸擴散爐主要用於光伏太陽能電池片生產過程中的擴散摻雜工藝，也可用於N型電池片擴硼工藝及離子注入后的退火工藝。

◆  閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；工藝氣體(三氯氧磷)可採用噴淋式方式引入到石英管內。閉管擴散方式工藝過程完全不受外界環 境干擾，工藝質量完全受控。

◆ 自動控制溫度過程及工藝過程，全部採用進口優質產品。

◆ 送取片方式：精心設計製造的軟着陸裝置，全數字化控制，性能更加穩定可靠，其特點平穩可靠、無爬行、Sic漿實現免清洗、定位準確、承重量大、使用壽命長。

◆ 可用於離子注入后的退火工藝。

◆ 我公司亦可提供硼擴散設備。

■ 閉管軟着陸擴散爐技術指標

◆ 工作溫度：600~1150℃                       

◆ 恆溫區長度：1350mm

◆ 溫區精度 (靜態閉管測試)： 800℃-1150℃：±0.5℃   600℃-800℃ ：±1℃

◆ 單點溫度穩定性(靜態閉管測試)：800℃-1150℃：±0.5℃/24h    600℃-800℃：  ±1℃/24h

◆ 溫度斜變能力：最大可控升溫速度：(600～1150℃) 15℃/min;  最大可控降溫速度：(1150～600℃)  5℃/min

◆ 氣體流量設定精度：±0.5％FS                

◆ 氣路系統氣密性：1×10-7Pa.m3/s

◆ 自動送料裝置行程：  ～2000mm    速度：5～1000mm/min     SiC漿承重：17kg

◆ 裝片數量： 530片/管（槽間距：4.76mm）                        

◆ 淨化台潔淨度：100級（10000級廠房）

◆ 三相五線制：380V±10%，50Hz±10%Hz          

◆ 冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min

◆ 1管、2管、3管、4管、5管分別可選

◆ 閉管軟着陸擴散爐設備性能、工藝性能可與進口設備媲美