型號: | - |
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品牌: | szzzna |
原產地: | 中國 |
類別: | 冶金礦產、能源 / 冶金礦產 / 粉末冶金 |
標籤︰ | 硅鍺靶SiGe , 硅靶Si , 濺射鍍膜靶材 |
單價: |
¥150
/ 件
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2024/11/27 |
SiGe(硅鍺)靶材
一、SiGe(硅鍺)靶材作為一種高性能的磁控濺射靶材材料,在半導體及微電子領域展現出了獨特的特性和廣氾的應用優勢。以下是對SiGe靶材的詳細介紹,包括其純度、密度、熔點、化學成份等特性,以及其在行業中的應用優勢。我司專注研發與生產,鑄就行業精品。所生產硅化物材料如下:
SILICIDES 硅化物 |
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Chromium Silicide (CrSi2) |
Tantalum Silicide (TaSi2) |
Hafnium Silicide (HfSi2) |
Titanium Silicide (TiSi2) |
Molybdenum Silicide (MoSi2) |
Tungsten Silicide (WSi2) |
Niobium Silicide (NbSi2) |
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SILICIDES 硅化物 |
二、SiGe靶材的特性
純度:
SiGe靶材的純度是確保其高性能的關鍵因素。高純度的SiGe靶材能夠減少雜質對濺射薄膜的影響,提高薄膜的質量和性能。在制備過程中,通常採用先進的提純工藝,確保靶材中的硅和鍺元素達到極高的純度水平純度為99.99%,同時嚴格控制其他雜質的含量。
密度:
SiGe靶材的密度與其微觀結構和成分比例密切相關。合理的密度不僅有助于濺射過程的穩定性,還能提高薄膜的緻密性和均勻性。通過優化制備工藝,可以精確控制SiGe靶材的密度,以滿足不同應用場景的需求。
熔點:
SiGe合金的熔點介於硅和鍺之間,具體熔點取決于硅和鍺的比例。由於SiGe靶材通常用於高溫濺射過程,因此其熔點的高低直接影響到濺射溫度的選擇和濺射效率。高熔點的SiGe靶材能夠在更高的溫度下保持穩定的濺射性能,適用於需要高溫濺射的場合。
化學成份:
SiGe靶材的主要化學成份是硅(Si)和鍺(Ge)。通過調整硅和鍺的比例,可以顯著改變靶材的能帶結構、電子遷移率等關鍵物理特性。這種可調性使得SiGe靶材在半導體器件製造中具有廣氾的應用前景。
三、SiGe靶材在行業中的應用優勢
高性能電子器件:
SiGe靶材在高性能電子器件製造中發揮着重要作用。由於SiGe合金具有較高的電子遷移率和較低的帶隙,使得SiGe基器件在高速、高頻領域具有顯著優勢。例如,SiGe異質結雙極型晶體管(HBT)具有出色的電流放大係數和頻率響應特性,被廣氾應用於射頻功率放大器、激光器等高性能電子器件中。
無線通信:
在無線通信領域,SiGe靶材的應用也日益廣氾。SiGe基器件具有低噪聲、低功耗和高可靠性等優點,非常適合用於下變頻器、低噪聲放大器(LNA)、前置放大器(preamplifier)和無線局域網(WLAN)功率放大器(PA)等無線通信組件中。隨着5G技術的普及和應用,對高性能無線通信組件的需求將進一步增加,SiGe靶材的市場前景將更加廣闊。
集成電路製造:
SiGe靶材在集成電路製造中也具有顯著優勢。通過磁控濺射技術,可以將SiGe薄膜均勻地沉積在基底上,形成高質量的SiGe基集成電路。這種集成電路不僅具有出色的電學性能,還具有良好的熱穩定性和機械強度,能夠滿足各種複雜應用場景的需求。
光電子領域:
在光電子領域,SiGe靶材同樣展現出良好的應用潛力。例如,在光通信和紅外探測等領域中,SiGe基器件具有優異的光學特性和光電轉換效率。通過優化SiGe靶材的制備工藝和成分比例,可以進一步提高這些器件的性能和穩定性。
綜上所述,SiGe靶材作為一種高性能的磁控濺射靶材材料,在半導體及微電子領域具有廣氾的應用前景和顯著的優勢。隨着科技的不斷進步和市場需求的不斷增加,SiGe靶材的性能將得到進一步提升,並在更多領域得到廣氾應用。