產品描述
產品應用:主要用於生長鈍化與多層布線介質用的氮化硅、氧化硅及摻雜等,以及125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上澱積氮化硅減反射鈍化膜。
產品特點:
◆ 用工控機對工藝時間,溫度,氣體流理,閥門動作,反應室壓力實現全自動控制
◆ 採用進口壓力控制系統,閉環系統,穩定性高
◆ 採用進口耐腐蝕不鏽鋼管件、閥門,確保氣路氣密性
◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置
◆ 具有超高溫報警,MFC報警,反應室壓力報警,RF報警,高壓空氣壓力報警,高壓空氣壓力報警,N2壓力報警,水流報警等
◆ 懸臂式送料裝置
◆ 適合晶體硅太陽能新工藝的探索實驗
主要技術指標:
1. 工作溫度:150~500℃,
2. 裝片數量(太陽能電池片):250片/每爐管(125mm×125mm) 192片/每爐管(156mm×156mm)
3. 壓力調節範圍:13~300Pa連續可調,閉環控制
4. 溫度長度(150~500℃):1000mm
5. 溫區穩定性:±2℃(450℃)
6. 澱積速率:30nm/min
7. 極限真空度:優于1Pa
8. 澱積膜均勻性:片內≤±5%
9. 射頻單元:進口RF電源,40/400KHZ連續可調
產品圖片
圖 1
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