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HVPE系統(國內唯一專業製造廠家)
在LED、LD、紫外探測器、功率電子器件眾多領域均有廣氾應用
應用領域：用於第三代半導體材料GaN晶體或厚膜生長
□ 用 途：在 GaN/ 藍寶石/SiC外延生長GaN 厚膜/單晶
□ 結構形式：垂直結構 / 水平結構
□ 工作能力：單片 / 三片（ 2-4inch ）
□ 設備組成：主機（反應室、加熱體等）、真空及壓力控制系統、計算機控制系統、氣源/ 氣櫃系統、尾氣處理等
□ 應 用： 為科研院所、大專院校定製產品
□ 供貨類型： 研髮型（R&D）

歡迎索取相應詳盡的技術資料及共研相應項目的解決方案。